Điều khiển nguyên tử: bình minh của công nghệ tối thượng trong sản xuất chip

[Màu của em]

Trong hơn nửa thế kỷ qua, ngành công nghiệp bán dẫn đã không ngừng thu nhỏ kích thước bóng bán dẫn, từ micromet xuống nanomet. Nhưng khi các linh kiện tiến gần đến quy mô chỉ vài chục nguyên tử, các giới hạn vật lý bắt đầu hiện rõ: dòng điện rò rỉ do hiệu ứng lượng tử, nhiệt sinh ra khó kiểm soát, còn chi phí sản xuất thì tăng vọt. Các hệ thống quang khắc cực tím sâu (EUV) hiện là đỉnh cao của công nghệ sản xuất chip, với mỗi cỗ máy trị giá hàng trăm triệu đô...

Đọc bài gốc tại đây